智通财经APP获悉,据报道,在第二十六届中国国际工业博览会上,朗道燧岩首次公开展示了一台EUV光源系统样机。这是目前公开展示中进度最靠前的国产EUV光源样机,被称作高端光刻机的“心脏”。这标志着国产EUV光源领域取得重大突破,从实验室走向产业化的关键一步已经迈出。
极紫外(EUV)光源是7nm 及以下先进制程芯片制造的三大核心零部件之一,长期受海外技术垄断与禁运限制,是制约中国高端芯片自主可控的关键环节。据介绍,本次展出的光源系统国产化率达90%,绝大多数核心零部件为自主研发,技术路线与国际领先厂商一致,可用于芯片曝光测试。
不过,该光源系统距离量产仍需3至5年时间,当前面临的核心挑战在于提升输出功率和长期运行稳定性。商用EUV光刻系统要求光源功率达到数百瓦级别,并能在长时间运行中保持高度可靠。以ASML举例,其EUV光源系统自2018年推出250W版本以来,已实现批量生产应用,目前正在向更高的1000W功率等级演进。
官网显示,朗道燧岩低功率EUV光源系统FlintNano LPP-OXXO已处于产品化阶段,驱动激光功率为1000W,激光频率1至20kHz,转换效率大于2%,EUV能量大于15W,持续工作时间超过100小时,等离子体尺寸60微米。高功率极紫外光源系统FlintMicro-LPP系列则已完成原理论证。
分析人士认为,朗道燧岩于工博会现场展示的样机目前验证了技术路线的可行性,但距离工业级应用所需的产品成熟度仍有明显差距。从15W级别的EUV能量输出到数百瓦量级的量产要求,朗道燧岩需要跨越的不仅是功率的倍数级提升,更包括等离子体稳定性、光源寿命和系统集成可靠性的全面突破。
国盛证券认为,国产光刻机空间国内需求大于国产供给,高端光刻机方面仍处于研发阶段,尚未实现大规模量产。在地缘政治风险的持续缩紧下,国产光刻机产业链替代空间广阔。
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中芯国际(00981):2026年上半年,公司实现营收386.35亿元,同比增长19.44%;归母净利润44.67亿元,同比大增94.16%,其中Q2单季净利润环比激增128%。公司给出的Q3指引为营收环比增长2%至4%,毛利率26%至28%。
华虹宏力(01347):2026年上半年,华虹宏力实现营业收入95.74亿元,同比增长19.41%。归属于上市公司股东的净利润近3.99亿元,同比增长436.69%;非经常性损益对净利润的影响为8292.26万元;归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润近3.16亿元,同比增长470.34%。
上海复旦(01385):2026年上半年,公司实现营业总收入22.25亿元,同比增长21.03%;归属于上市公司股东的净利润8.49亿元,同比大幅增长338.58%,增幅超过三倍;扣除非经常性损益后的净利润4.12亿元,同比增长125.88%。